MEMS电容式加速度传感器单片集成接口电路研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 赵楷 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2008 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 熊斌 |
| 关键词 | 电容式加速度传感器 Verilog-A开关电容 相关双采样 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | MEMS电容式加速度传感器具有分辨率高、动态范围大、温度特性好等优点,在惯性导航、空间微重力测量及高精度勘探等等方面有着广泛的应用。采用体微机械加工技术和硅硅键合技术可以实现高性能的加速度传感器。但是全硅三明治结构电容式传感器的寄生电容非常大,传统的电容检测电路和通用的电容检测集成电路都无法满足要求,因此需要设计一款专用的高性能电容检测电路。随着CMOS集成电路技术的迅猛发展,单片集成的微弱电容检测电路成为发展方向。本论文针对MEMS电容式加速度传感器的单片集成接口电路进行了深入的研究。 首先,作者根据硅 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82899]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵楷 . MEMS电容式加速度传感器单片集成接口电路研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2008. |
入库方式： OAI收割
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