反射式光读出非致冷红外成像阵列器件研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 李珂 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2008 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 王跃林 |
| 关键词 | MEMS技术 反射式光读出非致冷红外成像阵列器件 温度补偿 热-机械灵敏度 噪声等效温差 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 本论文研究了基于MEMS技术的反射式光读出非致冷红外成像阵列器件制作工艺及新结构设计。 器件制作方面,为减小微镜表面弯曲,提出一种改善器件微镜表面平坦性的方案:通过Lifioff工艺在微镜和双材料梁上实现不同厚度的Al膜,该方案保证了器件的高热-机械灵敏度和可见光的有效读出。针对之前器件释放中存在的释放不均匀性,提出了一种利用SiO_2薄膜作阻挡层的工艺方案来保障释放过程中边缘像素不会因释放时间过长而被破坏,从而改善了释放的不均匀性,为实现器件的整片释放奠定了工艺基础,并且,该工艺方案能进而解决整片Si- |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82902]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李珂 . 反射式光读出非致冷红外成像阵列器件研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2008. |
入库方式： OAI收割
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