基于自停止腐蚀的双面梁—质量块结构加速度传感器研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 肖飞 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2008 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 车录锋 |
| 关键词 | 微电子机械系统 加速度传感器 自停止腐蚀 硅-硅键合 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 电容式微加速度传感器具有分辨率高、动态范围大、噪声低、温度特性好等优点,可以广泛应用于惯性导航、空间微重力测量及石油勘探等领域。 本论文设计制作了一种基于自停止腐蚀的三明治电容式加速度传感器。它的梁-质量块结构由8根悬臂梁对称分布在质量块上下表面而成。梁的制作工艺结合ICP干法刻蚀和KOH各向异性自停止腐蚀,由单层(100)硅片得到双面梁-质量块结构。这种方法工艺简单,制作的V截面梁内应力小,尺寸参数可以精确控制——宽度、厚度分别由ICP刻蚀的宽度和深度决定,可以在不改变版图的情况下,通过改变ICP刻蚀深 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82906]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 肖飞 . 基于自停止腐蚀的双面梁—质量块结构加速度传感器研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2008. |
入库方式： OAI收割
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