量子级联激光器基础材料结构特性研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 梅斌 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2008 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 谢晓明 ; 徐刚毅 |
| 关键词 | X射线衍射 摇摆曲线 三轴二维倒空间Mapping 量子级联激光器 Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 本论文主要针对Ⅲ—Ⅴ族量子级联激光器的实验材料,进行了XRD以及PL谱的分析。目的是得到材料的精确的厚度以及组分,与我们所预期的结构进行对比,进而指导材料的生长,为得到结构更好的材料,性能更好的器件提供帮助。 本论文主要得到了以下研究成果: 1.利用高分辨率的X'pert多晶衍射仪,测量了以InP为衬底的单层InGaAs和InAlAs材料的三轴二维倒空间Mapping,研究得到了单层材料的错向角以及垂直衬底方向的失配度。并且,利用X射线摇摆曲线,得到了单层材料的精确的体失配度以及材料的组分。 2.测量了以 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82912]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梅斌 . 量子级联激光器基础材料结构特性研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2008. |
入库方式： OAI收割
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