微机械法布里-泊罗干涉型光学读出非致冷热成像技术研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 冯飞 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2004 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 王跃林 |
| 关键词 | 微机电系统 非致冷红外成像 法布里-泊罗微腔红外探测器阵列 可动微镜 热-机械灵敏度 噪声等效温差 |
| 学位专业 | 微电子与固体电子学 |
| 中文摘要 | 随着MEMS技术的发展和逐渐成熟，非致冷热成像技术在近几年取得了突破性的进展。其中，光学读出非致冷热成像技术是近几年红外研究领域的热点之一。 本论文首先提出了一种新颖的微机械法布里-泊罗干涉型光学读出非致冷热成像系统。该系统基于法布里-泊罗腔多光束干涉原理读出红外信号，具有可见光干涉读出亮度高、反衬度大和更高的探测灵敏度等优点；主要包括三个部分：红外光学系统；法布里-泊罗微腔红外探测器阵列(F-P MCIRDA)；可见光读出系统。本论文主要是围绕系统的关键部件—F-P MCIRDA的优化设计、F-P MC |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82916]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯飞 . 微机械法布里-泊罗干涉型光学读出非致冷热成像技术研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2004. |
入库方式： OAI收割
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