非晶硅微测辐射热计的材料、设计、制备和测试研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 马铁英 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2007 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 李铁 ; 王跃林 |
| 关键词 | 非晶硅 微测辐射热计 非致冷红外探测器 微电子机械系统 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 非致冷红外焦平面阵列具有重量轻，无需制冷，成本低等优点，在军民两用领域里有着广泛的应用市场。目前日臻成熟的MEMS技术使得红外探测器例如微测辐射热计的性能得到飞速的提升。 非晶硅具有较高的电阻温度系数，而且是半导体工艺中最为常用的材料，成本低廉，大面积均匀性好，还可同CMOS工艺兼容，因此非晶硅在微测辐射热计中的应用已受到广泛关注。本文将从非晶硅的材料入手，结合器件的设计、制备和测试开展研究，以制备出高性能、低成本的器件。 我们采用PECVD技术制备了不同掺杂比的掺磷非晶硅薄膜，通过对其在不同退火时间和温 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82934]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马铁英 . 非晶硅微测辐射热计的材料、设计、制备和测试研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2007. |
入库方式： OAI收割
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