SOI集成光波导器件的基础研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 林志浪 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2004 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 张峰 |
| 关键词 | 集成光学 SOI 脊形光波导 弯曲波导 光耦合器 可调式光衰减器 集成波导反射镜 |
| 学位专业 | 材料物理与化学 |
| 中文摘要 | 光电子器件的发展与应用推动着光通信系统的进步。SOI(Silicon-on-insulator)光波导技术同时具有优异的电学和光学性能，并且与成熟的硅基CMOS工艺完全兼容，是发展低成本的光子集成回路的重要趋势之一。光耦合器和可调式光衰减器都是密集波分复用(DWDM)光通信系统中必不可少的关键器件。本文围绕基于大截面SOI单模脊形光波导结构的弯曲波导、光耦合器和电光可调式光衰减器展开研制工作。 SOI光波导采用脊形波导结构可以实现大截面尺寸的单模传输。采用有效折射率方法分析了SOI脊形光波导的模式特性，得 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82936]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 林志浪 . SOI集成光波导器件的基础研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2004. |
入库方式： OAI收割
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