微机械热电堆红外探测器
文献类型：学位论文
| 作者 | 徐峥谊 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2002 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 王跃林 |
| 关键词 | 微电子机械系统 热电堆 热偶 红外探测器 悬臂梁 封闭膜 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 红外探测器是红外技术的心脏，军事的需要极大地推动了它的发展。热电堆 红外探测器作为一种非致冷的热红外探测器，具有较多的优势，应用广泛。在 20世纪80年代微电于机械系统(MEMS)发展起来之后，对微机械的热电堆红 外探测器的研究一直没有间断，但是其实用化的进程缓慢，关键原因在于制作工 艺存在难度，没有能够妥善解决。本论文以微机械热电堆红外探测器为研究对象， 从理论与工艺两方面进行了探索。 理论上，在稳态热传导泊松方程等基础上，以悬臂梁结构与封闭膜结构为切 入点，建立了探测器中结构与性能的联系；另外，系统地 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82956]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐峥谊 . 微机械热电堆红外探测器[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2002. |
入库方式： OAI收割
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