氧化钒红外敏感膜和非致冷焦平面成像阵列研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 袁宁一 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2002 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 林成鲁 ; 李金华 |
| 关键词 | 氧化钒薄膜 溶胶-凝胶法 离子束增强沉积 纳米陶瓷粉末 复合敏感膜 热释电单元传感器 热释电阵列 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 红外摄像技术是一种利用被探测物体自然辐射的红外线进行热成像，识别目标的技术。红外摄像技术的关键部件是红外探测器。虽然制冷型红外探测器的灵敏度、响应速度、探测距离等性能都比较高，但系统结构复杂且成本很高。因此，近年来非制冷红外探测器的研究和制造受到各国的热切关注。 非制冷热成像探测器目前以微测辐射热计和热释电探测器为主流。本论文针对这两类探测器开展了红外热敏薄膜制备和非制冷探测器研制工作。主要包括以下内容： 利用溶胶-凝胶法在SiO_2/Si衬底上获得了电阻率变化3个数量级以上、滞豫宽度为6.2℃的VO_2 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82975]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 袁宁一 . 氧化钒红外敏感膜和非致冷焦平面成像阵列研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2002. |
入库方式： OAI收割
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