新型锁存射频微机械开关的设计与工艺研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 邢向龙 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2005 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 王跃林 ; 焦继伟 |
| 关键词 | RF MEMS 开关 锁存 插入损耗 隔离度 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 本论文提出一种结构新颖的静电驱动、电容旁路式RF MEMS开关,利用双端固支薄膜在大于临界应力时的翘曲原理实现锁存功能。其特点是,当没有控制电压作用时,开关保持原有状态,即可以实现常开、常闭功能。 首先,详细地讨论了器件的机械设计和电学设计。分析了氮化硅/金复合膜的横向翘曲特性。有限元分析表明驱动电压随薄膜和驱动电极的间距增加而指数增加,随应力增大而迅速增大。设计了特征阻抗为50Ω的有限宽地平面共面波导,讨论了其损耗特性。提出了开关的等效电学模型并计算得到等效电路参数。ADS模拟表明开关具有很低的插入损耗 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82976]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邢向龙 . 新型锁存射频微机械开关的设计与工艺研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2005. |
入库方式： OAI收割
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