高量程微机械压阻式加速度传感器研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 黄全平 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2002 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 陆德仁 |
| 关键词 | 微电子机械系统 破坏强度 芯片设计 静态特性 动态测试 |
| 学位专业 | 微电子学和固体电子学 |
| 中文摘要 | 高量程微机械压阻式加速度传感器在冲击测试、军用引信中运用相当广泛。高量程加速度传感器往往需要很宽的频带，例如高量程加速度传感器量程可以达到100,000g，灵敏度0.2∽0.4μV/gv，安装固有频率可以达到MHz量级。 论文首先讨论了MEMS技术及几种常用的MEMS典型器件和本论文要用到的微机械加工技术。 第二章讲述了单晶硅的破坏强度问题，并用微力微位移天平方法进行研究。得出了一些结论，为传感器的研制打下基础。 第三章详细论述了具有双薄板梁岛结构的压阻式加速度传感器芯片的工作原理、分析了器件的静态、动态 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83014]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄全平 . 高量程微机械压阻式加速度传感器研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2002. |
入库方式： OAI收割
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