基于MEMS技术的磁珠微芯片的模拟及工艺研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 王彬 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2006 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 赵建龙 ; 徐元森 |
| 关键词 | 磁珠 MEMS 微流体 模拟分析 平面线圈 塑性材料微加工 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 在生物医学工程中，磁珠(Magnetic Bead)可作为生物反应的固相支持物。因为磁珠具有比表面积大、偶联容量高、操控方便等优势，近年来得到了广泛的应用。随着MEMS技术的发展，利用硅基及塑性材料制作芯片级的磁珠操控器件，进而构建磁珠微系统，在微全分析系统中已日益成为研究热点。 在基于MEMS技术的磁珠微系统的研究中，磁珠操控芯片的设计和制作工艺是其中的关键。本论文研究了磁珠芯片中的电磁场模拟分析，以及两种关键工艺——基于UV-LIGA的平面电磁器件制作工艺和塑性材料微加工制作工艺。在此基础上，设计、制 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83018]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王彬 . 基于MEMS技术的磁珠微芯片的模拟及工艺研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2006. |
入库方式： OAI收割
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