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基于MEMS技术的磁珠微芯片的模拟及工艺研究

文献类型:学位论文

作者王彬  
学位类别硕士
答辩日期2006
授予单位中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  
导师赵建龙 ; 徐元森  
关键词磁珠 MEMS 微流体 模拟分析 平面线圈 塑性材料微加工  
学位专业微电子学与固体电子学  
中文摘要在生物医学工程中,磁珠(Magnetic Bead)可作为生物反应的固相支持物。因为磁珠具有比表面积大、偶联容量高、操控方便等优势,近年来得到了广泛的应用。随着MEMS技术的发展,利用硅基及塑性材料制作芯片级的磁珠操控器件,进而构建磁珠微系统,在微全分析系统中已日益成为研究热点。 在基于MEMS技术的磁珠微系统的研究中,磁珠操控芯片的设计和制作工艺是其中的关键。本论文研究了磁珠芯片中的电磁场模拟分析,以及两种关键工艺——基于UV-LIGA的平面电磁器件制作工艺和塑性材料微加工制作工艺。在此基础上,设计、制
语种中文
公开日期2012-03-06
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83018]  
专题上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文
推荐引用方式
GB/T 7714
王彬  . 基于MEMS技术的磁珠微芯片的模拟及工艺研究[D]. 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  . 2006.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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