基于（111）硅的X轴微陀螺的研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 段飞 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2008 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 焦继伟 |
| 关键词 | (111)硅 X轴微陀螺 TFLG 惯性测量单元(IMU) 对称支承结构 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 微陀螺是近年来MEMS领域研究的一个热点，它由于体积小、重量轻、成本低等特点而受到广泛关注。其中，同为集成多轴惯性检测单元（IMU）的核心构件，X轴微陀螺的研究难度大于Z轴微陀螺，成为近年来微陀螺技术发展的挑战之一。对于振动式微陀螺，它的耦合误差是影响器件性能，特别是稳定性提高的重要因素。本文提出研究了一种具有高稳定性、高解耦度特征的新颖X轴TFLG（tuning fork lateral gyroscope）微陀螺。 “Out-of-plane”(离面)运动模态实现是研发X轴微陀螺的主要技术难点。论文提 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83079]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 段飞. 基于（111）硅的X轴微陀螺的研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2008. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。