大周期调谐比梳齿静电驱动MEMS可调谐光栅
文献类型：学位论文
| 作者 | 明安杰 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2008 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 王跃林 |
| 关键词 | 微机电系统 大周期调谐 可调谐光栅 梳齿驱动器 纵向稳定性 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 可调谐光栅由于衍射光角度以及衍射光强可调而有其广泛的应用需求和研究意义。MEMS技术与可调谐光栅结合一方面可以实现微型化，另一方面可以获得更多、更好的性能。但随着周期调谐比的增大，需要驱动器有更大的驱动行程的驱动器，并且，为方便与IC集成，还要更低的驱动电压；而且，在器件设计流程与制作工艺方面也遇到了新的困难。本论文针对大周期调谐范围的MEMS可调谐光栅设计制作中出现的问题，提出了一种采用大位移、低电压梳齿静电驱动器的大周期调谐比MEMS可调谐光栅。以梳齿驱动的纵向稳定性因子为主线，深入研究了弹性梁的非线 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83106]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 明安杰. 大周期调谐比梳齿静电驱动MEMS可调谐光栅[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2008. |
入库方式： OAI收割
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