新型结构HBT设计与材料生长研究
文献类型:学位论文
作者 | 艾立鹍 |
学位类别 | 博士 |
答辩日期 | 2008 |
授予单位 | 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) |
导师 | 齐鸣 |
关键词 | 异质结双极晶体管(HBT) 气态源分子束外延(GSMBE) GaAs InP InGaP InGaAs InGaAsP |
学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
中文摘要 | 异质结双极晶体管(HBT)是重要的高速电子器件,在微波/毫米波功率器件和单片集成电路(MMIC)方面具有重要的应用前景。双异质结HBT(DHBT)具有开启电压低、反向击穿电压高、输出功率大等特点,尤其适用于微波/毫米波功率放大等电路。但由于常规GaAs基和InP基DHBT结构在集电结处存在导带势垒尖峰导致的电流阻挡效应,从而使器件特性变差。为了优化GaAs基和InP基DHBT集电结设计,探索新的器件结构,本文以气态源分子束外延(GSMBE)技术为手段,结合理论模拟和分析,对新型结构DHBT的材料设计、外延 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2012-03-06 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83120] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 艾立鹍. 新型结构HBT设计与材料生长研究[D]. 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) . 2008. |
入库方式: OAI收割
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