电容式微陀螺专用集成接口电路研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 李金鹏 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2009 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 焦继伟 |
| 关键词 | MEMS 陀螺 接口电路 专用集成电路 建模 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | MEMS陀螺多采用电容式输出，因而起到将电容差量转换为电压量的接口电路就成为显得十分重要。传统采用PCB板分立器件搭建的转换电路往往难以达到较低的噪声和较高的精度。本文研究了几种电容－电压转移方法的电路，分析了他们的优缺点，采用其中一种方案作为原型，通过多方面的改进，设计实现了一种MEMS电容式陀螺专用集成接口电路。在基于电荷转移原理的开关电容式电容量检测原型电路的基础上，通过分析电路的关键问题所在，有针对性地设计了电荷转移放大器、基准电压源、采样保持电路、相关双采样电路等。接口电路进行了仿真，仿真结果表 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 页码 | 77 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83188]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李金鹏. 电容式微陀螺专用集成接口电路研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2009. |
入库方式： OAI收割
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