微纳机电谐振结构与传感器研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 夏晓媛 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2009 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 李昕欣 |
| 关键词 | 微纳机电系统 扭转模态 压阻效应 谐振特性 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 微纳机电谐振器以其体积小、质量轻、工作频率高且对某些环境变化十分敏感，可用于高灵敏度传感器；此外还可作为RF滤波器、振荡器、频率基准元件等在射频电路中得到直接应用，因此越来越受到人们的关注，具有重要的研究意义。 本文设计制作了一种厚度为95nm的集成式硅谐振悬臂梁传感器。通过悬臂梁上金属线圈在稳定磁场中产生的洛伦兹力对其进行驱动，同时利用悬臂梁上的压阻元件对其谐振信号进行探测。对于纳米厚度的硅悬臂梁来说，本文创新性地提出了贯穿硅梁厚度的扭转模态压阻检测方法，打破了传统压阻检测中性面的限制；通过谐振特性测量 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 页码 | 104 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83192]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 夏晓媛. 微纳机电谐振结构与传感器研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2009. |
入库方式： OAI收割
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