分布反馈量子级联激光器的设计与基础工艺
文献类型：学位论文
| 作者 | 徐刚毅 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2002 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 李爱珍 |
| 关键词 | 量子级联激光器 能带结构 分布反馈光栅 器件工艺 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 本工作的目标是研制分布反馈量子级联激光器(DFB-QCL),实现单模激射.根据已有的研究积累,计划分四个阶段实现这一目标:1)多量子阱激光器、量子级联激光器能带与波函数设计的研究,分布反馈光栅结构的设计;2)分布反馈光栅刻蚀系统的研制与光栅制备;3)多模量子级联激光器器件工艺的研究;4)结合前三部分工作,研制分布反馈量子级联激光器.博士后工作期间已成功地实现前三个阶段的目标,正在进行第四阶段的工作.主要结果有:一、能带与波函数工程研究:作为量子级联激光器设计的前期工作,研究了多量子阱体系的能带、波函数与增 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83227]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐刚毅. 分布反馈量子级联激光器的设计与基础工艺[D]. 北京. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2002. |
入库方式： OAI收割
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