一种微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器
文献类型：学位论文
| 作者 | 黄树森 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2003 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 王跃林 ; 李昕欣 |
| 关键词 | 微机械技术 压阻式加速度传感器 微梁直拉直压 灵敏度 谐振频率 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 本论文主要论述了一种新型的微梁直拉直压的硅微机械压阻式加速度传感器的设计、制作和测试。该传感器同时具有较高灵敏度和谐振频率。 论文的第一章对微电子机械系统及其器件设计、制造技术和应用等发展状况进行了综述，重点综述了微机械加速度传感器的研究进展。 第二章详细论述了一种新型的微梁直拉直压硅微机械压阻式加速度传感器的工作原理。传感器芯片由中间支撑梁、质量块、两只质量腿和两只微梁组成。由于质量块和质量腿结构的特殊设计，工作时微梁直拉或者直压。力学分析表明由于三梁结构和微梁的直拉直压工作方式，该设计能同时提高传感器 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83234]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄树森 . 一种微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2003. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。