微机械压阻式冲击加速度传感器研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 王钻开 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2003 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 陆德仁 |
| 关键词 | 微电子机械系统 压阻式 冲击 封装 静态测试 动态测试 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 随着科技的发展，加速度传感器在工业应用中越來越得到广泛应用，比如设备的振动检测。传统的传感器往往很难满足上述要求，而微电子和微机械加工紧密结合的MEMS加速度传感器已经显示出了巨大的生命力。本论文主要针对微机械压阻式冲击加速度传感器，进行了设计，工艺制作，封装和测试。 论文论述了固有频率和阻尼对传感器动态特性的影响，进一步介绍了微机械传感器中常用的阻尼模型，这些为传感器的设计打下了良好的理论基础。针对已开发的加速度传感器中存在的问题，设计了双质量块板结构加速度传感器，对该结构进行了优化设计(灵敏度，频率和 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83242]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王钻开 . 微机械压阻式冲击加速度传感器研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2003. |
入库方式： OAI收割
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