纳米谐振器结构的加工技术研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 许科峰 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2007 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 杨恒 |
| 关键词 | MEMS/NEMS 谐振器 Q值 频率 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 特征尺度在纳米量级的梁结构是多种纳机电器件的基本结构。本文研究了几种基于MEMS技术的纳米梁的制造技术，利用MEMS技术中材料和工艺的特性实现了单晶硅纳米梁的制作。并且，在此基础上制成了谐振结构，用光学的方法测试了其Q值和谐振频率。 在(100)SOI硅片上，用氧化减薄的方法制作出不同长度的各种纳米梁结构，包括悬臂梁，双端固支梁和十字型梁等；并且改进了梁的释放技术，通过腐蚀衬底硅实现梁的释放，从而梁和衬底间距比较大，这样不仅降低了释放的操作难度，同时也能提高纳米梁的驱动效率。同时，制成了双端固支梁和悬臂梁 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83252]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 许科峰 . 纳米谐振器结构的加工技术研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2007. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。