LFRF-PECVD法制备碳纳米管材料的工艺、微结构及场发射性能的研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 于伟东 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2002 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 王曦 |
| 关键词 | LFRF-PECVD法 碳纳米管 生长工艺 微结构 电子场发射 |
| 学位专业 | 材料物理与化学 |
| 中文摘要 | 碳纳米管材料作为纳米材料的一个重要分支,在电子、力学、物理和化学方面具有许多奇特的性能,使得它在单电子器件、场发射冷阴极、储氢和复合材料强化等方面具有很巨大的应用潜力.目前,最具实用化和市场化的应用领域是利用其优异的电子场发射性能来制作碳纳米管场发射平板显示器.碳纳米管冷阴极的研究也是碳纳米管以至整个纳米技术研究的一个热点.因此,本论文研究了LFRF-PECVD法制备碳纳米管材料的工艺、微结构和电子场发射性能.得到的如下主要结论:1、通过对现有的实验设备的改造,组装了LFRF-PECVD装置.2、研究工艺 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83258]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 于伟东. LFRF-PECVD法制备碳纳米管材料的工艺、微结构及场发射性能的研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2002. |
入库方式： OAI收割
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