硅集成探针技术及微纳摩擦效应研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 刘斌 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2007 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 李昕欣 |
| 关键词 | MEMS集成探针阵列 微纳摩擦 尺寸效应 温度效应 液体微点样探针 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 本文采用基于Si的微加工制造技术研制了有着三种不同针尖尺寸并且具有加热功能的悬臂梁探针阵列，该探针阵列利用硅尖低温氧化削尖的工艺条件，可以使针尖尺寸从几十纳米到数个微米。在原子力显微镜(AFM)模式支撑下，探针具有测微力和局域加热功能。 本文针对重要的聚合物PMMA薄膜微纳摩擦和磨损特性，采用加热探针技术，着重对微纳尺度效应和温度效应展开具有创新性的研究。研究发现：在PMMA薄膜中存在着两种显著的结构转变过程，即玻璃态转变(α)过程和结构驰豫(β)过程；通过加热针尖从摩擦的变化中可以检测到这两种过程，实验 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83278]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘斌 . 硅集成探针技术及微纳摩擦效应研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2007. |
入库方式： OAI收割
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