MEMS悬臂梁磁场传感器与谐振悬臂梁电磁驱动技术
文献类型：学位论文
| 作者 | 刘剑 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2006 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 李昕欣 |
| 关键词 | 悬臂梁 压阻检测 静磁力驱动 自标定 AGC 谐振器 闭环电路 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 本论文分为四个章节。第一章是MEMS综述和对本论文工作的引出，第二章提出并论述了一种可以实现片上自标定功能的MEMS悬臂梁磁测量传感器的设计、制造和性能测试。第三章论述了动态谐振式MEMS悬臂梁传感器电磁驱动技术，研制了一种基于AGC的谐振驱动接口电路，文中给出了它的设计、制作和性能测试。 在第一章，本文介绍了该磁场测量传感器的研究背景和目前应用和研究中的各种MEMN磁场测量传感器的基本原理和分类。系统的论述了MEMS悬臂梁磁场传感器的工作机制。 第二章在，提出了一种具有片上自我标定功能的压阻MEMS悬臂 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83283]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘剑 . MEMS悬臂梁磁场传感器与谐振悬臂梁电磁驱动技术[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2006. |
入库方式： OAI收割
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