MEMS电容式加速度传感器检测电路减噪与微机械谐振器静电自激驱动研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 王俊杰 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2006 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 王跃林 |
| 关键词 | MEMS加速度传感器 噪声 分辨率 谐振器 静电自激驱动 谐振频率 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 本论文主要包括两方面内容：MEMS加速度传感器及其检测电路的减噪以及谐振器的静电自激驱动研究。 针对石油勘探的用途，为了更好地还原地震波的原始信号，在我们已经研制的MEMS加速度传感器的基础上，进一步提高传感器及电路性能，提高分辨率。首先从MEMS电容式加速度传感器及其检测电路的原理分析入手，阐述加速度传感器的检测原理，分析其噪声源，以及对不同电路结构的噪声进行比较，通过具体改进加速度传感器及其检测电路，测试改进前后噪声以及分辨率的对比(改进前分辨率有效值为0.01m／s~2，即1mg左右；改进后分辨率有 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83288]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王俊杰 . MEMS电容式加速度传感器检测电路减噪与微机械谐振器静电自激驱动研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2006. |
入库方式： OAI收割
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