AlN压电薄膜制备及铰链式高量程加速度计研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 范克彬 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2006 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 熊斌 |
| 关键词 | AlN薄膜 正交设计 微电子机械系统 压阻式 高量程 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 随着科技的发展，惯性传感器在工业应用中越来越得到广泛应用，比如应用于汽车防撞气囊的加速度计和导航系统的陀螺仪。微电子和微机械加工紧密结合的MEMS惯性传感器已经显示出巨大的生命力。本论文主要针对将用于声表面波陀螺的压电材料AlN薄膜的制备做了预研工作，同时也对一种铰链式高量程加速度传感器进行了设计，工艺制作，封装及测试。 论文的前两章主要介绍了AlN薄膜的制备。第一章介绍了制作声表面波陀螺的动机以及AlN薄膜制备研究的进展及其应用。 第二章首先简要介绍了反应性直流溅射的原理、声表面波原理，然后根据声表面波 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83297]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 范克彬 . AlN压电薄膜制备及铰链式高量程加速度计研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2006. |
入库方式： OAI收割
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