CMOS兼容的微机械P/N多晶硅热电堆红外探测器
文献类型：学位论文
| 作者 | 刘义冬 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2006 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 李铁 |
| 关键词 | 红外 热电堆 微电子机械系统 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 随着红外探测技术在军事和民用领域的地位日益提高，近年来非制冷红外技术已成为红外技术低成本、小型化的主流发展方向，它采用目前日臻成熟的MEMS技术，利用光-热-电转化探测红外光，具有重量小、复杂程度低、功耗小、成本低等优势。热电堆红外探测器是最早研究并实用化的热电型红外成像器件之一。采用MEMS工艺制作的微机械红外热电堆由于能够有效降低其热传导、提高其集成度，性能比传统热电堆器件有较大幅度提升。 由于微机械红外热电堆大都采用背腐蚀法或较复杂的表面加工法制备，与CMOS工艺兼容性差且需要后续工艺，对工艺要求高 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83298]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘义冬 . CMOS兼容的微机械P/N多晶硅热电堆红外探测器[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2006. |
入库方式： OAI收割
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