电磁驱动电容式振动微机械陀螺接口电路研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 付盛荣 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2003 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 王跃林 |
| 关键词 | 微电子机械系统 振动式微机械陀螺 电容式 电磁驱动 自激振荡 C-V变换 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 微机械陀螺由于使用了MEMS(微电子机械系统)技术作为加工手段，使得其体积、成本等相对于传统的陀螺仪有很大的下降，同时，其加工手段有可能与集成电路工艺兼容，从而有望在汽车工业、航空航天等领域有广泛的应用。本论文主要针对电磁驱动电容检测的振动式微机械陀螺，对其接口电路的相关理论和实现进行了研究。 首先，根据振动式微机械陀螺的工作原理，建立了动力学模型，并对动力学方程求解，在此基础上，得出对接口电路有用的结论；对电磁驱动和电容检测作了概述；建立了陀螺器件等效的电学模型，借助电学模型，可以动态地观察陀螺器件的特 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83310]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 付盛荣 . 电磁驱动电容式振动微机械陀螺接口电路研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2003. |
入库方式： OAI收割
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