高性能MEMS射频无源器件与三维硅微机械加工技术
文献类型：学位论文
| 作者 | 顾磊 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2007 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 李昕欣 |
| 关键词 | 微机电系统 射频无源器件 电感 互感 可变电容 X-Y两维微移动平台 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 本论文工作主要研究硅基三维微机械结构制造及关键器件的研制技术。一方面将技术针对目前电讯用RFIC的高性能无源元件，所开发的低温工艺可以与RFIC的CMOS工艺相兼容，同时利用MEMS技术解决了硅衬底损耗等问题，实现了高性能的RF电感、互感和可变电容等关键元件，另一方面还针对微纳操纵和精确定位系统需求的X-Y微移动平台，用深沟侧壁隔离(Trench-sidewall)MEMS工艺形成了具有微米级移动范围和纳米级定位精度的高性能X-Y微移动平台，同时电绝缘技术使该微平台可以在普通硅片上制作，大大降低了制作成本 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83313]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 顾磊 . 高性能MEMS射频无源器件与三维硅微机械加工技术[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2007. |
入库方式： OAI收割
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