生化检测用集成微机械悬臂梁谐振传感器技术
文献类型：学位论文
| 作者 | 金大重 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2006 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 李昕欣 |
| 关键词 | 微机电系统 生物传感器 微机械悬臂梁 高阶谐振模态 噪声机制 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 谐振式微机械悬臂梁生物传感器，由于具有超高质量检测分辨率，能够实现单细胞检测，获得了广泛的研究。针对生化检测的需求，为进一步提高质量检测分辨率，本论文通过优化激励微机械悬臂梁的高阶谐振模态来提高品质因数，改善质量检测分辨率。 因为室温气压下，在微米尺度的微机械悬臂梁的主要噪声机制是热机械噪声，所以品质因数对微机械悬臂梁的质量检测灵敏度起着决定性的作用。微机械悬臂梁在高阶谐振模态下具有更高的品质因数和灵敏度，而其等效质量不变，因此可以获得更高的质量检测分辨率。采用了与高阶谐振模态振形函数相匹配的优化驱动方式 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83336]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金大重 . 生化检测用集成微机械悬臂梁谐振传感器技术[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2006. |
入库方式： OAI收割
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