离子束辅助沉积制备TiO<,2>-Nb<,2>O<,5>薄膜及其氧敏性能研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 牟海川 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 1997 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 柳襄怀 |
| 关键词 | 离子束增强 沉积方法 制备 TiO< 2> -Nb< 2> O< 5> 氧敏薄膜 薄膜组分比 氧敏特性 结构 |
| 学位专业 | 材料物理 |
| 中文摘要 | 在反应离子束刻蚀与镀膜机(RIBC-1)上用离子束增强沉积方法制备了不同组分比的TiO<,2>-Nb<,2>O<,5>氧敏薄膜.考究了薄膜组分比及退火温度对薄膜氧敏特性和结构的影响. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83670]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文（200年以前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 牟海川. 离子束辅助沉积制备TiO<,2>-Nb<,2>O<,5>薄膜及其氧敏性能研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 1997. |
入库方式： OAI收割
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