正入射量子阱红外探测器研究
文献类型:学位论文
作者 | 杨宇 |
学位类别 | 博士 |
答辩日期 | 1999 |
授予单位 | 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) |
导师 | 夏冠群 |
关键词 | 量子阱 正入射 光栅 红外探测器 |
学位专业 | 材料科学与工程 |
中文摘要 | 量子阱红外探测器具有大面积均匀性好、易于双色或多色器件的单片集成等优点,是目前红外探测器研究的焦点.但它对正入射光的吸收是禁戒的,针对这一问题的完善解决,该工作从量子阱材料红外光吸收的基本理论出发,研究了正入射量子阱红外探测器光耦合技术;优化出具体的光栅参数;在理论分析和实验的基础上,设计出64×2正入射量子阱红外探测器的面阵版图;并探索了GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器的制备工艺. |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2012-03-06 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83689] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文(200年以前) |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨宇. 正入射量子阱红外探测器研究[D]. 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) . 1999. |
入库方式: OAI收割
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