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正入射量子阱红外探测器研究

文献类型:学位论文

作者杨宇
学位类别博士
答辩日期1999
授予单位中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  
导师夏冠群
关键词量子阱 正入射 光栅 红外探测器
学位专业材料科学与工程
中文摘要量子阱红外探测器具有大面积均匀性好、易于双色或多色器件的单片集成等优点,是目前红外探测器研究的焦点.但它对正入射光的吸收是禁戒的,针对这一问题的完善解决,该工作从量子阱材料红外光吸收的基本理论出发,研究了正入射量子阱红外探测器光耦合技术;优化出具体的光栅参数;在理论分析和实验的基础上,设计出64×2正入射量子阱红外探测器的面阵版图;并探索了GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器的制备工艺.
语种中文
公开日期2012-03-06
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83689]  
专题上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文(200年以前)
推荐引用方式
GB/T 7714
杨宇. 正入射量子阱红外探测器研究[D]. 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  . 1999.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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