镍氢电池的内压特性及其管理系统硬件设计
文献类型：学位论文
| 作者 | 毛王君 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2011 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 宋志棠,娄豫皖 |
| 关键词 | 超薄栅氧层 可靠性 界面态 导电机制 击穿机制 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 随着CMOS器件尺寸的成比例缩小，作为存储介质的栅氧层的厚度也在不断的减小，栅漏电成为低功耗和便携用非易失性存储器和CMOS逻辑电路所面临的严峻问题。当栅氧层的厚度减小到3纳米以下时，无论从栅氧层的电学特性还是从其可靠性的角度来看，都出现一些新的现象。例如，多晶硅栅电极的耗尽效应(poly depletion effect)使得降落在栅氧层的有效电压减小，量子效应(quantum effect)更加明显，使得载流子分布不再符合传统的麦克斯韦统计分布规律。电容-电压(C-V)法提取的栅氧层电学厚度(elec |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83606]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 毛王君. 镍氢电池的内压特性及其管理系统硬件设计[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2011. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。