悬桥式微流量传感器的研制
文献类型：学位论文
| 作者 | 熊斌 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 1996 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 王渭源 |
| 关键词 | 悬桥式微流量传感器 热力学模型 温度分布解析式 |
| 学位专业 | 半导体物理与半导体器件物理 |
| 中文摘要 | 该论文建立了悬桥式微流量传感器的热力学模型,给出了传感器的温度分布解析式,分析了环境温度对器件性能的影响.该论文描述了传感器的制备工艺.使用硅微机械加工技术研制出了悬桥式微流量传感器,对器件的特性进行了测试并对测试结果进行了讨论. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83751]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文（200年以前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊斌. 悬桥式微流量传感器的研制[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 1996. |
入库方式： OAI收割
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