反应离子束溅射法制备的铁氮薄膜的热稳定性及软磁性能研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 丁星兆 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 1997 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） |
| 导师 | 柳襄怀 |
| 关键词 | 反应离子束溅射 微观结构 热稳定性 铁氮薄膜 磁学性能 热处理 |
| 学位专业 | 材料科学与工程 |
| 中文摘要 | 该文采用氨气气氛下反应离子束溅射方法制备铁氮化合物薄膜.通过X-射线衍射和卢瑟夫背散射技术对薄膜的微观结构及成分进行分析测试.我们首先研究了铁氮化合物薄膜的热稳定性.采用振动样品磁强计对铁氮薄膜的磁学性能进行了测试.我们还对铁氮化合物薄膜在180℃热处理过程中的饱和磁化强度的变化行为进行了测试. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83752]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文（200年以前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 丁星兆. 反应离子束溅射法制备的铁氮薄膜的热稳定性及软磁性能研究[D]. 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） . 1997. |
入库方式： OAI收割
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