实用Al<,2>O<,3>薄膜湿度传感器制作工艺的改进及在集成电路中应用的研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 杜风涛 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 1997 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 林心如 |
| 关键词 | 多孔Al< 2> O< 3> 薄膜湿度传感器 制备 稳定性 集成电路 制备 |
| 学位专业 | 分析化学 |
| 中文摘要 | 该论文工作旨在提高实用多孔Al<,2>O<,3>薄膜湿度传感器制备的成品率,改善其稳定性,同时研究与集成电路制备相容的传感器制作工艺. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83762]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文（200年以前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杜风涛. 实用Al<,2>O<,3>薄膜湿度传感器制作工艺的改进及在集成电路中应用的研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 1997. |
入库方式： OAI收割
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