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无疲劳层状铁电薄膜脉冲激光沉积及其性质研究

文献类型:学位论文

作者杨平雄
学位类别博士
答辩日期1997-04-01
授予单位中国科学院研究生院(上海冶金研究所)  
导师林成鲁
关键词无疲劳层状 铁电薄膜 脉冲激光沉积
学位专业半导体物理与半导体器件物理
语种中文
公开日期2012-03-06
页码112
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83887]  
专题上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文(200年以前)
推荐引用方式
GB/T 7714
杨平雄. 无疲劳层状铁电薄膜脉冲激光沉积及其性质研究[D]. 中国科学院研究生院(上海冶金研究所)  . 1997.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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