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离子束辅助沉积氧化钛薄膜的合成及其血液相容性研究

文献类型:学位论文

作者张峰
学位类别博士
答辩日期1997-11-20
授予单位中国科学院研究生院(上海冶金研究所)  
导师柳襄怀 ; 朱德彰
关键词离子不辅助沉积技术 生物材料 氧化钛薄膜 血液相溶性 人工心脏瓣膜
学位专业材料物理
中文摘要该论文研究了离子束辅助沉技术合成的氧化钛薄膜的物理性质和血液相容性.对薄膜的结构、成分、化学价态进行了分析.合成的薄膜具有金红石结构.薄膜的O/Ti在1.85:1左右.薄膜中各成分沿深度分布均匀.薄膜中含有一定量的Ti<'2+>和Ti<'3+>,并估算了它在薄膜中的含量.薄膜中还含有少量的C,其结合形式为TiC.由于Ti<'2+>和Ti<'3+>的存在,导致了Ols向高结合能方向移动.薄膜的晶粒度在20~59nm之间.薄膜和衬底之间有一个非晶过渡层.透射电镜
语种中文
公开日期2012-03-06
页码129
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83900]  
专题上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文(200年以前)
推荐引用方式
GB/T 7714
张峰. 离子束辅助沉积氧化钛薄膜的合成及其血液相容性研究[D]. 中国科学院研究生院(上海冶金研究所)  . 1997.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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