MOVPE法生长GaAs太阳电池材料中若干问题的研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 公延宁 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 1999-06-01 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） |
| 导师 | 夏冠群 ; 莫金玑 |
| 关键词 | GaAs MOVPE生长 太阳电池材料 异质结构 |
| 学位专业 | 半导体材料 |
| 中文摘要 | 该文利用该所于1991年自行研制的常压MOVPE设备,以GaAs太阳电池MOVPE生长研究为中心,并针对某些工作中遇到的难点问题,主要开展了三方面的工作,即AlGaAs的MOVPE生长,掺碳GaAs的MOVPE生长,以及GaAs/AlGaAs异质结构的选择性腐蚀. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 页码 | 85 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83937]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文（200年以前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 公延宁. MOVPE法生长GaAs太阳电池材料中若干问题的研究[D]. 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） . 1999. |
入库方式： OAI收割
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