无氢非金刚石薄膜的制备及其电子场发射性能的研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 茅东升 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2000 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） |
| 导师 | 柳襄怀 |
| 关键词 | 无氢非晶 金刚石薄膜 电子场 发射性能 |
| 学位专业 | 材料物理与化学 |
| 中文摘要 | 该项目研究包括非晶金刚石薄膜的制、掺杂、表征、电子场发射性能及其影响因素研究;非晶金刚石薄膜阵列的刻蚀和图形化;场发射冷阴极的制作和封装. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 页码 | 133 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83954]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文（200年以前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 茅东升. 无氢非金刚石薄膜的制备及其电子场发射性能的研究[D]. 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） . 2000. |
入库方式： OAI收割
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