非制冷红外探测器用PbTiO3系统贴点薄膜的Sol-Gel法制备及性能研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 符小荣 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2000-11-01 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） |
| 导师 | 林成鲁 |
| 关键词 | PbTiO< 4> PZT Sol-Gel法 热释电 铁电薄膜 MgO过渡层 喷雾热分解 |
| 学位专业 | 微电子与固体电子学 |
| 中文摘要 | 近年来,将铁电薄膜与半导体电路相集成并研制红外热释电阵列,得到了各国的高度重视.该文困绕铁电薄膜制备技术和红外探测器件研制过程中相关的若干关键问题,开展了三方面的研究工作.其一,以Sol-Gel法制备出适合非制冷红外探测器件用的高质量铁电薄膜;其二,MgO薄膜过渡层的制备和PLCT/MgO/Si结构的电学性能研究;其三,(100)取向富锆PZT铁电薄膜以及(101)取向PLCT铁电薄膜的结构与相关物理性能的研究. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 页码 | 89 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83985]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文（200年以前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 符小荣. 非制冷红外探测器用PbTiO3系统贴点薄膜的Sol-Gel法制备及性能研究[D]. 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） . 2000. |
入库方式： OAI收割
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