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GaAs MESFET器件与光通讯GaAs电路的研究

文献类型:学位论文

作者詹琰
学位类别博士
答辩日期2001-05-01
授予单位中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  
导师夏冠群
关键词GaAs MESFET 阈值电压均匀性 旁栅效应 光纤通信 判决电路 时钟提取电路
学位专业微电子与固体电子学
中文摘要该文讨论了GaAs MESFET器件模型.由二区间模型导出了I<,DS>与V<,GS>和V<,DS>的关系.但由于计算过于复杂,而工艺又多变,使用物理模型处理电路模拟时,误差较大.因此在电路模拟程序SPICE或PSPICE中通常采用Curtice模型和Statz模型.研究结果表明使用Statz模型更适合GaAs电路的模拟.该文设计了一套适合多种工艺的阈值电压均匀性研究测试版图,包括多种材料参数及工艺参数测试图形.分别对采用隔离注入挖槽工艺和平面选择离子注入自隔离工艺制备
语种中文
公开日期2012-03-06
页码101
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83994]  
专题上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文(200年以前)
推荐引用方式
GB/T 7714
詹琰. GaAs MESFET器件与光通讯GaAs电路的研究[D]. 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  . 2001.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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