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III-V材料的RF Plasma MBE生长及物理研究

文献类型:学位论文

作者李伟
学位类别博士
答辩日期2001-04-01
授予单位中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  
导师李爱珍
学位专业微电子与固体电子学
语种中文
公开日期2012-03-06
页码127
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83998]  
专题上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文(200年以前)
推荐引用方式
GB/T 7714
李伟. III-V材料的RF Plasma MBE生长及物理研究[D]. 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  . 2001.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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