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反应离子深刻蚀的模型模拟与深刻蚀的工艺研究

文献类型:学位论文

作者姜建东
学位类别硕士
答辩日期1993-03-01
授予单位中国科学院研究生院(上海冶金研究所)  
导师王德宇 王渭源
关键词反应离子深刻蚀 模型模拟 深刻蚀硅 工艺
学位专业半导体物理与半导体器件物理
语种中文
公开日期2012-03-06
页码68
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/84309]  
专题上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文(200年以前)
推荐引用方式
GB/T 7714
姜建东. 反应离子深刻蚀的模型模拟与深刻蚀的工艺研究[D]. 中国科学院研究生院(上海冶金研究所)  . 1993.

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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