X射线双晶衍射在半导体材料研究中的应用
文献类型：学位论文
| 作者 | 童刚 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 1995-03-24 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） |
| 导师 | 姜小龙 |
| 关键词 | 半导体材料 外延材料 超晶格 多量子阱材料 X射线双晶摆动曲线 |
| 学位专业 | 材料物理 |
| 中文摘要 | 该论文是在畸变晶体的X射线运动学衍射理论和动力学衍射理论以及双晶摇摆曲线计算程序的基础上,研究和讨论了单层多层外延材料和超晶及多量子阱材料的X射线双晶摆动曲线的特征和它们与结构的关系,给出了研究这些薄膜材料结构的具体方法. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 页码 | 68 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/84368]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文（200年以前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 童刚. X射线双晶衍射在半导体材料研究中的应用[D]. 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） . 1995. |
入库方式： OAI收割
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