离子束辅助沉积TiB2和TiB2-TiN双层膜合成及性能研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 杨云洁 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 1995-03-20 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） |
| 导师 | 柳襄怀 |
| 关键词 | 氙离子束辅助沉积技术 合成 二硼化钛薄膜 |
| 学位专业 | 材料物理 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 页码 | 72 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/84376]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文（200年以前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨云洁. 离子束辅助沉积TiB2和TiB2-TiN双层膜合成及性能研究[D]. 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） . 1995. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。