微型静电悬浮结构的模拟研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 李宝清 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 1993-09-01 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） |
| 导师 | 陆德仁 |
| 关键词 | 微型静电悬浮系统 模拟分析 微机械加工技术 |
| 学位专业 | 半导体物理与半导体器件物理 |
| 中文摘要 | 微型静电悬浮系统是一种用于减少微马达摩擦的结构,利用静电悬浮技术使得悬浮片稳定悬浮于悬浮电极下方,此种结构不仅可应用于微马达的制作,考虑到它的悬浮稳定特性,也可以应用于加速度计的研制中.该论文详细分析了微型静电悬浮系统用于加速度计时的情况,给出了确定悬浮电路电参数的方法,分析了加速度计的灵敏度,时间响应特性,电路分布电容的影响,同时,对于电容测量电路也进行了模拟分析.设计了一套利用微机械加工技术制作微型静电悬浮结构的工艺流程,分别制作了微型静电悬浮结构的三个部件并组装成完整的样品.通过实验分析了悬浮电感上 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 页码 | 65 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/84386]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文（200年以前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李宝清. 微型静电悬浮结构的模拟研究[D]. 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） . 1993. |
入库方式： OAI收割
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