SOI和铁电薄膜及其器件的辐照效应研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 高剑侠 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 1998 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 林成鲁 ; 严荣良 |
| 关键词 | SOL器件 铁电薄膜电容 γ辐照效应 |
| 学位专业 | 微电子学与固态电子学 |
| 公开日期 | 2012-03-07 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/84437]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文（200年以前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高剑侠. SOI和铁电薄膜及其器件的辐照效应研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） . 1998. |
入库方式： OAI收割
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