高频等离子体合成Si_3N_4超细粉料
文献类型：期刊论文
| 作者 | 朱清文 ; 阎嘉坪 |
| 刊名 | 化工学报
 |
| 出版日期 | 1988 |
| 卷号 | 39期号:6页码:766-769 |
| 关键词 | 超细粉料 参数选择 高频等离子体 Si_3N_4 数值计算 等离子体合成 磁泵 反应过程 等离子体负载 |
| ISSN号 | 0438-1157 |
| 通讯作者 | 朱清文 |
| 中文摘要 | 本文研究了用高频等离子体合成Si_3N_4超细粉料.进行了合成系统的设计、参数选择,发展了利用“磁泵”效应把反应气体送入弧区和用氢气调整高频机——等离子体负载匹配的方法,分析了反应过程,作了数值计算,并制取了Si_3N_4超细粉料. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-08-03 ; 2010-08-20 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/36796]  |
| 专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱清文,阎嘉坪. 高频等离子体合成Si_3N_4超细粉料[J]. 化工学报,1988,39(6):766-769. |
| APA | 朱清文,&阎嘉坪.(1988).高频等离子体合成Si_3N_4超细粉料.化工学报,39(6),766-769. |
| MLA | 朱清文,et al."高频等离子体合成Si_3N_4超细粉料".化工学报 39.6(1988):766-769. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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