Al2O3/NbAlO/Al2O3 sandwich gate dielectric film on InP
文献类型：期刊论文
| 作者 | Cheng, XH ; Xu, DP ; Sun, QQ ; He, DW ; Wang, ZJ ; Yu, YH ; Zhang, DW ; Zhao, QT |
| 刊名 | APPLIED PHYSICS LETTERS
 |
| 出版日期 | 2010 |
| 卷号 | 96期号:2页码:22904-22904 |
| ISSN号 | 0003-6951 |
| 通讯作者 | Cheng, XH, Chinese Acad Sci, SIMIT, State Key Lab Funct Mat Informat, Changning Rd 865, Shanghai 200050, Peoples R China |
| 学科主题 | Physics, Applied |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2012-03-24 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/94686]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_功能材料与器件_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Cheng, XH,Xu, DP,Sun, QQ,et al. Al2O3/NbAlO/Al2O3 sandwich gate dielectric film on InP[J]. APPLIED PHYSICS LETTERS,2010,96(2):22904-22904. |
| APA | Cheng, XH.,Xu, DP.,Sun, QQ.,He, DW.,Wang, ZJ.,...&Zhao, QT.(2010).Al2O3/NbAlO/Al2O3 sandwich gate dielectric film on InP.APPLIED PHYSICS LETTERS,96(2),22904-22904. |
| MLA | Cheng, XH,et al."Al2O3/NbAlO/Al2O3 sandwich gate dielectric film on InP".APPLIED PHYSICS LETTERS 96.2(2010):22904-22904. |
入库方式： OAI收割
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